美国议员要求升级对中芯国际制裁：DUV光刻机也不能给-中芯国际,光刻机

作者：admin浏览数：2021-03-23

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在美国政府松绑对中芯国际成熟制程的采购禁令，部分美国设备供应商成功获得许可，开始恢复对中芯国际的供应之后，美国当地时间3月19日，共和党两名重量级议员要求拜登政府升级对中芯国际制裁，以确保中芯国际无法获取关键的半导体制造设备。

据《美国之音》报导，美国共和党众议员麦考尔（Michael McCaul）和鲁比欧（Marco Rubio）已于当地时间周五联和致信美国商务部长雷蒙多（Gina Raimondo）称，基于中芯国际协助中国大陆追求“取代美国在全球的领先地位”方面发挥的作用，为保护美国的国家安全利益，要求禁止可能支持中芯国际生产半导体的货物转让。

根据报导引述该信函中的内容指出，这两位共和党众议员要求拜登政府劝说荷兰政府阻止ASML出售深紫外线(DUV)光刻机卖给中芯国际，并且还须与盟国达成协议，统一出口限制和许可权，限制类似深紫外线和极紫外（EUV）光刻等技术设备的出售。

值得注意的是，早在2018年，中芯国际就曾向ASML订购了一台可以用于7nm以下制程芯片生产的EUV光刻机，但是由于美国方面的阻挠，荷兰政府一直未向ASML发放出口许可，导致这台EUV光刻机至今仍无法向中芯国际交付。

此外，去年12月18日晚间，美国商务部又以保护美国国家安全和外交利益为由，宣布将中芯国际及其部分子公司及参股公司列入“实体清单”。这也使得美国厂商要想供货中芯国际，必须要取得美国商务部的许可证。并且，美国商务部有特别指出，对于10nm及以下先进工艺所需的物品都会直接拒绝。

不过在3月1日，业内传出消息称，中芯国际已获得部分美国设备厂商供应14nm及以上成熟制程设备的供应许可，并且中芯国际之前一直有申请但未获通过的一类关键设备（用于14nm），此次也获得了通过。

随后在3月3日晚间，中芯国际还通过港交所发布公告，宣布公司已于2021年2月1日，就购买用于生产晶圆的ASML产品与ASML上海公司签订了经修订和重述的采购协议，根据购买的ASML产品定价计算，该协议购买ASML产品的总代价约为12亿美元。而根据随后ASML的公告，此次采购协议主要为DUV相关产品。

需要指出的是，DUV光刻机虽然不如EUV光刻机先进，但是其也能够被用于7nm制程的半导体芯片的生产。这或许也正是美议员要求阻止ASML出售深DUV光刻机卖给中芯国际的一大因素。

同时，美议员的信函中还要求将已被列入“实体清单”内的中芯国际，同华为一样，纳入去年8月所修订的“外国制造直接产品规则”，以确保中芯国际无法从世界任何地方获得关键半导体制造设备。

去年8月17日，美国第二次升级了针对华为的禁令，要求：

1）如果美国软件或技术是外国生产物品的基础，该物品将被纳入或将用于“生产”或“开发”生产、购买的任何“零件”、“组件”或“设备”，或由实体列表上的任何华为实体订购；

2）如果实体清单中的任何华为实体是该交易的当事方，例如“购买者”，“中间收货人”，“最终收货人”或“最终用户”。

如果美国后续真的对中芯国际的制裁进一步升级，纳入该限制规则的范围，那么这将意味着中芯国际不仅将无法继续获得美国生产的“零件”、“组件”或“设备”，同样其他国家的半导体设备厂商（比如ASML）可能也将无法向中芯国际供应基于美国软件或技术来开发或生产的“零件”、“组件”或“设备”，除非获得美国的许可证。那么中芯国际无疑将陷入巨大的危机。

虽然ASML是荷兰公司，但是其光刻机当中的一些关键器件也是来自于美国，比如美国Cymer公司（2012年底被ASML收购）正是ASML的光刻机的主要的光源供应商。因此，如果美国将中芯国际与华为一样都纳入去年8月所修订的“外国制造直接产品规则”，那么中芯国际采购ASML的光刻机也将遇阻。

不过，从目前拜登政府的态度来看，既然之前美国半导体设备厂商出口中芯国际的成熟制程所需的部分半导体设备能够成功获批，那么应该不会又突然进一步升级对中芯国际的制裁。

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